アワーズテックの非破壊分析技術を生かしたインライン膜厚分析装置
当社の非破壊分析技術を生かしたインライン型膜厚分析装置をご紹介いたします。
【特 徴】 ● インラインで膜厚の分析が可能 ● 電源はAC100Vのみ、省電力装置 ● 用途に合わせて自在にカスタマイズ可能 ● SDD検出器搭載で液体窒素や冷却水は不要 【応 用 例】 ● 高機能成膜フィルムのインライン膜厚分析 ● 金属箔のインライン分析 ● 溶液・液体のインライン分析etc
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取付例
(成膜装置への取付例) (測定ヘッド部取付例)
測定ヘッド部は真空内でも設置が可能です。
(真空度については別途お打合せとなります。)
構成品例
測定ヘッド部と電源部の接続ケーブルの長さは2.7mになります。
装置とPCの通信は、USBケーブルを使用します。
出力表示例
寸法図
アプリケーション例
OURSTEX100TA-F仕様
測定原理 | エネルギー分散型蛍光X線分析法 |
測定対象 | フィルム |
電源 | AC100V-240V |
設置環境温度 | 5-27℃ |
装置冷却 | 水冷式※1 |
X線定格出力 | 40kV,1.0mA,最大40(W) |
検出器 | SDD(シリコンドリフトディテクタ) |
計数回路 | DSP(デジタルシグナルプロセッサ) |
測定ヘッド部寸法 | 温度:5~27℃ 266(W)×136(D)×160(H)mm ※2 |
※1:測定ヘッド部(内部)が水冷の対象になります。
※2:予告なく変更することがあります。
測定対象試料や、対象元素・精度・操作等について詳細仕様は別途お打合せになります。お気軽にご相談ください。
*OURSTEX100TA-Fのご導入に関しては事前に労働基準監督署への届出が必要です。