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蛍光X線分析装置によるインライン型膜厚分析の実用例

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装置の概要

成膜フィルム等の膜厚測定は表面加工した機能性材料の開発や品質管理にとって欠かせない評価技術です。
蛍光X線分析装置「OURSTEX100FA」では測定ヘッド部を成膜装置に取付れるようにインライン用に改造が可能です。
この測定ヘッド部内の検出器及びX線管球は水冷によって放熱させています。

装置の取付

出力表示例

装置仕様(標準)

測定対象  フィルム
電源  AC100V~240V
設置環境温度  5~27℃
装置冷却  水冷式 ※1
X線定格出力  40(kV)-1.0(mA) , 最大40(W)
測定ヘッド部寸法  266(W)×136(D)×160(H)mm ※2

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