蛍光X線分析の原理

X線について

蛍光X線の発生

一次X線を試料に照射するとX線のエネルギーによって電子がはじき飛ばされ、原子は励起されます。そこに外殻電子が落ち込み、そのエネルギー差に相当する蛍光X線が放射されます。このとき発生する蛍光X線は元素に固有のエネルギーを持っているため定性分析ができます。また、蛍光X線の強度から定量分析もできます。